通过构建分散模块化系统，子系统分担过程控制以外的功能控制，从而确保主控制器的资源集中用于晶片过程控制。
同时采用高速、低抖动且具有实时性的EtherCAT，确保过程控制精准重复。
欧姆龙NX-ECT101 NX系列 EtherCAT® 从站单元
支持EtherCAT实现高速数据交换
EtherCAT 借助自律分散系统、提升半导体设备的附加价值
确保晶片过程控制精准重复
缩短设备设计开发周期
通过分散模块化实现并行开发。此外，使用NX-ECT101并与EtherCAT整合，减少需要学习操作的工具。
使用自动化软件Sysmac Studio整合运动、安全、传感等开发环境。
由此，能够缩短设计开发周期及设计人员培训时间。
减少占地面积
NX系列在兼顾了控制与安全的同时，宽度也仅有102mm。
相较于其它公司的产品，尺寸缩减了48%*1，有助于减少占地面积。
简化维护工作
无需经由计算机操作工具，仅需使用SD存储卡即可完成程序升级。 此外，还能够避免程序因误操作而遭改写，可轻松、有效地进行维护。
借助EtherCAT®自律分散系统、提升半导体设备的附加价值
提升半导体制造设备的附加价值、为你推荐采用NX-ECT101的EtherCAT自律分散系统。（3分22秒）请点击观看视频
EtherCAT从站单元
| 产品名称 | 规格 | 型号 | |
|---|---|---|---|
| 收发PDO数据大小*1 | 刷新方式 | ||
| EtherCAT 从站单元  |
• EtherCAT主站输入的数据(TxPDO)1,204字节以下 • EtherCAT主站输出的数据(RxPDO)1,200字节以下 |
自由运行模式 | NX-ECT101 |
*1. TxPDO数据的详情如下所示。
• CPU单元至EtherCAT主站的I/O数据组：1,200字节以下
• 向EtherCAT主站通知的状态：4字节以下
EtherCAT通信电缆 推荐产品
对于EtherCAT，请使用5类以上的双绞线电缆（铝带编织双重隔离屏蔽电缆）。
通过直接配线使用。
带连接器电缆
| 产品名称 | 形状 | 制造商 | 电缆长度(m) *1 |
型号 |
|---|---|---|---|---|
| 两侧带连接器电缆(RJ45/RJ45) 小型RJ45连接器 * 1 规格、线芯数(对数)：AWG26×4P 电缆护套材质：LSZH * 2 电缆颜色：黄色 * 3 |
 |
欧姆龙株式会社 | 0.3 | XS6W-6LSZH8SS30CM-Y |
| 0.5 | XS6W-6LSZH8SS50CM-Y | |||
| 1 | XS6W-6LSZH8SS100CM-Y | |||
| 2 | XS6W-6LSZH8SS200CM-Y | |||
| 3 | XS6W-6LSZH8SS300CM-Y | |||
| 5 | XS6W-6LSZH8SS500CM-Y | |||
| 两侧带连接器电缆(RJ45/RJ45) 坚固型RJ45连接器 * 1 规格、线芯数(对数)：AWG22×2P 电缆颜色：浅蓝色 |
 |
欧姆龙株式会社 | 0.3 | XS5W-T421-AMD-K |
| 0.5 | XS5W-T421-BMD-K | |||
| 1 | XS5W-T421-CMD-K | |||
| 2 | XS5W-T421-DMD-K | |||
| 5 | XS5W-T421-GMD-K | |||
| 10 | XS5W-T421-JMD-K | |||
| 插头两侧带连接器电缆 (M12直线型/M12直线型) 强化屏蔽连接器电缆规格 * 4 M12S martClick连接器型 规格、线芯数(对数)：AWG22×2P 电缆颜色：黑色 |
 |
欧姆龙株式会社 | 0.5 | XS5W-T421-BM2-SS |
| 1 | XS5W-T421-CM2-SS | |||
| 2 | XS5W-T421-DM2-SS | |||
| 3 | XS5W-T421-EM2-SS | |||
| 5 | XS5W-T421-GM2-SS | |||
| 10 | XS5W-T421-JM2-SS | |||
| 插头两侧带连接器电缆 (M12直线型/RJ45) 强化屏蔽连接器电缆规格 * 4 M12S martClick连接器型 坚固型RJ45连接器 规格、线芯数(对数)：AWG22×2P 电缆颜色：黑色 |
 |
欧姆龙株式会社 | 0.5 | XS5W-T421-BMC-SS |
| 1 | XS5W-T421-CMC-SS | |||
| 2 | XS5W-T421-DMC-SS | |||
| 3 | XS5W-T421-EMC-SS | |||
| 5 | XS5W-T421-GMC-SS | |||
| 10 | XS5W-T421-JMC-SS | |||
| 两侧带连接器电缆(RJ45/RJ45) 小型坚固型RJ45连接器 * 5 电缆颜色：黄色 规格、线芯数(对数)：AWG22×2P |
 |
3M日本株式会社 | 0.25 | 3RHS4-1100-0.25M |
| 0.5 | 3RHS4-1100-0.5M | |||
| 1 | 3RHS4-1100-1M | |||
| 2 | 3RHS4-1100-2M | |||
| 5 | 3RHS4-1100-5M | |||
| 10 | 3RHS4-1100-10M |
*1. 小型电缆的长度备有0.2、0.3、0.5、1、1.5、2、3、5、7.5、10、15、20m。
坚固型两侧带连接器电缆（RJ45/RJ45）长度备有0.3、0.5、1、2、3、5、10、15m。
详情请参见《工业用以太网连接器产品目录》（样本编号：CDJC-CN5-006）。
*2. 控制柜内配线用Low Smoke Zero Halogen电缆。LSZH型采用单重隔离屏蔽结构，确认通信、干扰特性满足规格值。另外也备有适用于控制柜外电缆铺设的小型PUR电缆。
*3. 电缆的颜色备有绿色和蓝色。
*4. 详情请向本公司销售负责人员咨询。
*5. 电缆长度备有0.25～100m。请咨询经销商。
电缆/连接器
规格、线芯数（对数）：AWG24 × 4
| 部件名称 | 形状 | 制造商 | 型号 |
|---|---|---|---|
| 电缆 | ― | 日立金属株式会社 | NETSTAR-C5E SAB 0.5 × 4P CP *1 |
| ― | 仓茂电工株式会社 | KETH-SB *1 | |
| ― | JMACS株式会社 | IETP-SB *1 | |
| RJ45连接器 | ― | 泛达公司 | MPS588-C *1 |
*1. 建议通过以上组合使用本电缆和连接器。
规格、线芯数（对数）：AWG22 × 2P
| 部件名称 | 形状 | 制造商 | 型号 |
|---|---|---|---|
| 电缆 | ― | 仓茂电工株式会社 | KETH-PSB-OMR *1 |
| ― | JMACS株式会社 | PNET/B *1 | |
| ― | 3M日本株式会社 | 79100-IE4P-F1-YE *2 | |
| RJ45组装式连接器 |  |
欧姆龙株式会社 | XS6G-T421-1 *1 |
| ― | 3M日本株式会社 | 3R104-1110-000AM *2 |
*1. 建议通过以上组合使用本电缆和连接器。
*2. 建议通过以上组合使用本电缆和连接器。
注1. 加工电缆时，EtherCAT两侧连接器均需屏蔽连接，敬请注意。
一般规格
| 项目 | 规格 | |
|---|---|---|
| 结构 | 控制柜内置型 | |
| 接地方法 | D种接地(第3种接地) | |
| 使用环境 | 使用环境温度 | 0～55ºC |
| 使用环境湿度 | 10～95%RH(无结露、无结冰) | |
| 大气环境 | 无腐蚀性气体 | |
| 保存环境温度 | -25～+70ºC(无结露、无结冰) | |
| 使用海拔 | 2,000m以下 | |
| 污染等级 | 污染等级2以下：相当于IEC 61010-2-201 | |
| 抗干扰性能 | 符合IEC 61000-4-4标准、2kV(电源线) | |
| 过电压种类 | 类别II：相当于IEC 61010-2-201 | |
| EMC抗扰度等级 | 区域B | |
| 耐振动 | 符合IEC 60068-2-6标准 5～8.4Hz、振幅3.5mm、 8.4～150Hz 加速度9.8m/s2 X、Y、Z各方向100分钟(扫描时间10分钟×扫描次数10次=总计100分钟) |
|
| 耐冲击 | 符合IEC 60068-2-27标准，147m/s2 X、Y、Z各方向3次 | |
| 绝缘电阻 | 参见各NX单元的个别规格 | |
| 耐电压 | 参见各NX单元的个别规格 | |
| 适用标准 | cULus：Listed(UL61010-2-201)、EU：EN 61131-2、RCM、 KC：韩国电波法注册、EAC、UKCA |
|
注1. 耐振动与耐冲击的重力加速度为G=9.8m/s2。
注2. 绝缘电阻及耐电压规格因NX单元的型号而异。
注3. 关于各型号的最新适用标准，请参见本公司主页（www.fa.omron.com.cn）或联系本公司销售人员。
个别规格
| 项目 | 规格 | |
|---|---|---|
| 传送规格 | 通信协议 | EtherCAT专用协议(从站专用) |
| 调制方式 | 基带 | |
| 传送速度 | 100Mbps | |
| 物理层 | 100BASE-TX(IEEE 802.3) | |
| 拓扑结构 | 取决于EtherCAT主站规格*1 | |
| 传送介质 | 5类以上双绞线电缆 (建议使用铝带编织双重隔离屏蔽电缆) |
|
| 传送距离 | 节点间距离：100m以内 | |
| 收发PDO数据大小 *2 | • EtherCAT主站输入的数据(TxPDO) 1204字节以下 • EtherCAT主站输出的数据(RxPDO) 1200字节以下 可在EtherCAT主站与CPU单元间交换的数据大小： • TxPDO：1200字节以下 • RxPDO：1200字节以下 |
|
| 邮箱 | 紧急信息、SDO请求 | |
| 邮箱数据大小 | • 输入：400字节以下 • 输出：400字节以下 |
|
| 刷新方式 | 自由运行模式 | |
| Explicit Device ID设定范围 *3 | • 硬开关设定：1～255 • 软件设定：1～65535 |
|
| I/O刷新方式 | 自由运行刷新方式 | |
| 外部连接端子 | EtherCAT通信用连接器 • RJ45 × 2(支持屏蔽) • IN：EtherCAT输入/OUT：EtherCAT输出 |
|
| 外形尺寸 | 30(W)× 100(H)× 71(D)[mm] | |
| 绝缘方式 | 通信连接器与NX总线间：脉冲变压器 | |
| 绝缘电阻 | 相互绝缘的回路间20MΩ以上(DC100V) | |
| 耐电压 | 相互绝缘的回路间AC510V、1分钟、漏电流5mA以下 | |
| I/O电源供给方法 | 无供给 | |
| I/O电源端子电流容量 | 无I/O电源端子 | |
| NX单元电源功耗 | • 连接CPU单元 1.75W 无法连接通信耦合器单元及通信控制单元 |
|
| I/O电源消耗电流 | 无消耗 | |
| 重量 | 110g | |
| 安装方向和限制 | 安装方向： • 连接CPU单元 可正面安装 限制：无 无法连接通信耦合器单元及通信控制单元 |
|
| 回路构成 |  |
|
*1. EtherCAT从站单元符合EtherCAT标准。可构成的拓扑结构请通过所连接的EtherCAT主站规格确认。
并且，EtherCAT从站单元支持环形拓扑结构。
*2. TxPDO是从EtherCAT从站单元向EtherCAT主站发送的数据。
RxPDO是EtherCAT从站单元从EtherCAT主站接收的数据。
TxPDO数据的详情如下所示。
• CPU单元至EtherCAT主站的I/O数据组：1200字节以下
• 向EtherCAT主站通知的状态：4字节以下
*3. 可设定的ID范围因连接的EtherCAT主站规格而异。可在EtherCAT主站设定的ID范围请通过EtherCAT主站规格确认。
（单位：mm）
30mm宽
安装高度
*1. 取决于使用的连接器。
使用MPS588-C时：约120mm
使用XS6G-T421-1时：约130mm
*2. 使用XS6G-T421-1时的尺寸。
使用MPS588-C时，连接器无法从单元底面露出。
系统构成图
NX系列EtherCAT从站单元的系统构成示例如下。
使用NX系列CPU单元中的NX系列NX102 CPU单元时的示例。
使用NX102 CPU单元以外的NX系列CPU单元时，请参见所连接的CPU单元的用户手册。
