欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

    超高性能传感器支持大范围准确测量的核心质量

    ZS-HL系列部分产品预定于2021年1月底订货截止。

高性能传感器支持大范围准确测量的核心质量

测量中心距离为20 ～ 1,500 mm的各种型号。
最大分辨率达0.25 μm。
最大响应速度达110 μs。
支持并行输出。

ZS-HL 特点 3 ZS-HL_Features1
ZS-HL 特点 4 ZS-HL_Features2
ZS-HL 特点 5 ZS-HL_Features3

超稳定性

较佳尺寸/稳定性
传感器尺寸

重视性能的理想传感器头尺寸和3点式固定构造确保出众的传感稳定性。（参见注释）

ZS-HL 特点 9 ZS-HL_Features4

注：ZS-HLDS2T 不可用。

卓越的移动分辨率
透视分辨率提升

通过提高受光透镜的灵敏度和分辨率，使光学系统较优化，从而大幅度降低移动分辨率误差（因工件表面位置引起的误差）。

ZS-HL 特点 13 ZS-HL_Features5

材质间误差降低
2维CMOS

CCD在受光量过多时电荷会溢出至相邻的像素。CMOS避免了这种现象，不会受不同材质或受光过多导致的光量变动影响。

ZS-HL 特点 16 ZS-HL_Features6
ZS-HL 特点 17

降低决定测量精度的不同物体之间的差异。
因此，可以更方便地应用于检测对象物。

ZS-HL 特点 19 ZS-HL_Features7
ZS-HL 特点 21 ZS-HL_Features8
ZS-HL 特点 22 ZS-HL_Features9
ZS-HL 特点 23

1,500mm长距离检测，可以测量以往无法测量的点。

ZS-HL 特点 25 ZS-HL_Features10
ZS-HL 特点 27 ZS-HL_Features11

注：此功能可能在明亮环境中无效。

ZS-HL 特点 29

可稳定测量倾斜工件和移动工件。

ZS-HL 特点 31 ZS-HL_Features12
ZS-HL 特点 32 ZS-HL_Features13

专门为ZS-HLDS2VT开发的非球面透镜，采用的光学结构设计适用于正反射工件。显著扩大了允许倾斜的角度，并提高了测量透明工件和正反射工件的稳定性。

ZS-HL 特点 34 ZS-HL_Features14
ZS-HL 特点 35

在半导体晶圆片、玻璃等要求精度高的测量上具有较佳优势。

ZS-HL 特点 37 ZS-HL_Features15
ZS-HL 特点 38 ZS-HL_Features16

测量精度0.25μm，同级产品的较高水平。

ZS-HL 特点 40 ZS-HL_Features17

密封调和器的高度控制

ZS-HL 特点 42 ZS-HL_Features18

HDD用电机旋转座的光盘播放检查

ZS-HL 特点 44 ZS-HL_Features19

种类

智能传感器

ZS-HL系列传感器头

光学系统 检测距离 光束形状 光束直径 分辨率(参见注) 电缆长度 型号
正反射型 20±1mm 线光束 1.0mm × 20μm 0.25 μm 2m ZS-HLDS2T 2M
0.5m ZS-HLDS2T 0.5M
25±2mm 线光束 2.2mm × 45μm 0.6 μm 2m ZS-HLDS2VT 2M
0.5m ZS-HLDS2VT 0.5M
漫反射型 50±5mm 线光束 1.0mm × 30μm 0.25 μm 2m ZS-HLDS5T 2M
0.5m ZS-HLDS5T 0.5M
100±20mm 线光束 3.5mm × 60μm 1 μm 2m ZS-HLDS10 2M
0.5m ZS-HLDS10 0.5M
600±350mm 线光束 16mm × 0.3mm 8 μm 2m ZS-HLDS60 2M
0.5m ZS-HLDS60 0.5M
1500±500mm 线光束 40mm × 1.5mm 500 μm 2m ZS-HLDS150 2M
0.5m ZS-HLDS150 0.5M

注: 详情请参见额定值/规格表。

ZS-HL系列传感器头（喷嘴间隙用）

光学系统 检测距离 光束形状 光束直径 分辨率(参见注) 电缆长度 型号
正反射型 10±0.5mm 线光束 900 × 25μm 0.25μm 2m ZS-LD10GT 2M
0.5m ZS-LD10GT 0.5M
15±0.75mm 线光束 900 × 25μm 0.25μm 2m ZS-LD15GT 2M
0.5m ZS-LD15GT 0.5M

注: 详情请参见额定值/规格表。

ZS-L系列传感器头

光学系统 检测距离 光束形状 光束直径 分辨率(参见注) 电缆长度 型号
正反射型 20±1mm 线光束 900 × 25μm 0.25μm 2m ZS-LD20T 2M
0.5m ZS-LD20T 0.5M
点光束 φ25μm 0.25μm 2m ZS-LD20ST 2M
0.5m ZS-LD20ST 0.5M
40±2.5mm 线光束 2000 × 35μm 0.4μm 4m ZS-LD40T 4M
2m ZS-LD40T 2M
0.5m ZS-LD40T 0.5M
漫反射型 50±5mm 线光束 900 × 60μm 0.8μm 2m ZS-LD50 2M
0.5m ZS-LD50 0.5M
点光束 φ50μm 0.8μm 2m ZS-LD50S 2M
0.5m ZS-LD50S 0.5M
80±15mm 线光束 900 × 60μm 2μm 2m ZS-LD80 2M
1m ZS-LD80 1M
0.5m ZS-LD80 0.5M
130±15mm 线光束 600 × 70μm 3μm 2m ZS-LD130 2M
0.5m ZS-LD130 0.5M
200±50mm 线光束 900 × 100μm 5μm 2m ZS-LD200 2M
0.5m ZS-LD200 0.5M
350±135mm 点光束 φ240μm 20μm 2m ZS-LD350S 2M
0.5m ZS-LD350S 0.5M

注 : 平均采样数：设置为高精度模式时128。

ZS-HL系列传感器控制器

形状 电源电压 控制输出 型号
1618_lu_4_1
DC24V NPN输出 ZS-HLDC11
PNP输出 ZS-HLDC41

ZS-L系列传感器控制器

形状 电源电压 控制输出 型号
1618_lu_5_1
DC24V NPN输出 ZS-LDC11
PNP输出 ZS-LDC41

多通道控制器

形状 电源电压 控制输出 型号
1618_lu_6_1
DC24V NPN输出 ZS-MDC11
PNP输出 ZS-MDC41

数据存储单元

形状 电源电压 控制输出 型号
1618_lu_7_1
DC24V NPN输出 ZS-DSU11
PNP输出 ZS-DSU41

附件（另售）

控制器链接单元

形状 型号
zs-hl_lu_6_1
ZS-XCN

面板安装适配器

形状 型号
zs-hl_lu_7_1
ZS-XPM1 用于第一个控制器
zs-hl_lu_7_2
ZS-XPM2 用于扩展(从第二个控制器开始)

RS-232C 电缆

连接至 型号 数量
个人计算机(2m) ZS-XRS3 1
PLC/PT(2m) ZS-XPT3 1

兼容CompoNet的传感器通信单元

形状 型号
zs-hl_lu_13_1
ZS-CRT

记忆卡

型号 容量
HMC-EF283
HMC-EF583		 256 MB
512 MB

实时并行输出单元 ( ZS-HL系列用)

形状 控制输出 型号
zs-hl_lu_12_1
NPN 输出 ZG-RPD11-N
PNP输出 ZG-RPD41-N

传感器头延长电缆

电缆长度 型号 数量
1m ZS-XC1A 1
4m ZS-XC4A
5m ZS-XC5B(*1,*2)
8m ZS-XC8A
10m ZS-XC10A(*1)

*1.至少连接两根ZS-XC□B 电缆。 (最长为22m).
*2.还包括一根机器人电缆（ZS-XC5BR）

传感器头扩展电缆
（用于ZS-HL系列专用数字均衡器）

名称 型号 数量
数字均衡器(中继器) ZS-XEQ 1
扩展电缆(长距离、耐弯曲型15m电缆) ZS-XC15CR 1
扩展电缆(长距离、耐弯曲型25m电缆) ZS-XC25CR 1
数字均衡器连接电缆(0.2m) ZS-XC02D 1

记录软件

名称 型号
SmartMonitor Professional ZS-SW11V3E

ZS-HL系列传感器控制器

项目 型号 ZS-HLDC11 ZS-HLDC41
平均采样数 1/2/4/8/16/32/64/256/512/1，024/2，048、4，096
安装传感器 每只传感器控制器1个
外部接口 链接方式 串口I/O：连速器，其他：预配线(标准电缆长度:2m)
串口I/O USB2.0 1个端口，全速(12Mbps以下)，MINI-B
RS-232C 1个端口，115,200bps以下
输出 判断输出 3个输出：HIGH(高)/PASS(通过)/LOW(低)
NPN开路集电极，DC30V,最大为50mA，残余电压：最大为1.2V		 3个输出：HIGH(高)/PASS(通过)/LOW(低)
PNP开路集电极，最大为50mA，残余电压：最大为1.2V
线性输出 可从2种输出，电压或电流中选择(通过底座上切换开关进行选择)。
·电压输出：-10～10V,输出阻抗40Ω
·电流输出：4～20mA，最大负载电阻：300Ω
输入 激光OFF，归零定时，复位 ON:短路，端电压0V或1,5V或更低
OFF:开路(漏电流：最大为0.1mA)		 ON：电源电压短路或电源电压差1.5V以内
OFF:开路(漏电流：最大为0.1mA)
功能 显示：测量值、门限值、电压/电流、接收光量以及分辨率/端子块输出*2
传感：模式、增益、测量对象、头安装
测量点*1：平均值、峰值、谷值、厚度、断差以及计算
过滤：平滑、平均以及微分
输出：比例(聚焦/校正)、判断(迟滞和定时器)、非测量、及组(切换和清除)*
系统保存、初始化、测量信息显示、通信设定值、键锁定、语言及数据加载
任务：ZS-HLDC□1:单任务或多任务(最多4项)
ZS-LDC□1：单任务
状态指示灯 HIGH(橘黄色)、PASS(绿色)、LOW(橘黄色)、LDON(绿色)、ZERO(橘黄色)、ENABLE(绿色)
分段显示 主显示 8段红色LED，6位
副显示 8段绿色LED，6位
LCD 16位数×2行、字符颜色：绿色，每个字符分辨率：5×8像素矩阵
设定输入 设定键 方向键(上、下、左、右)、设定键、退出键、菜单键及功能键(1～4)
切换开关 门限开关(2种状态：高/低)、模式开关(3种状态：功能、示教及运行)
电源电压 DC21.6V～26.4V(包括纹波)
电流消耗 最大为0.5A(连接传感器头时)
环境温度 运行：0～50°C，储存：-15～+60°C(无结冰、无结露)
环境湿度 运行和储存时：35%～85%(无结露)
防护等级 IP20 (IEC60529)
材质 外壳：聚碳酸酯(PC)
电缆长度 2m
质量 约280g(不含包装材质和附件)
附件 铁氧体磁芯(1)，说明书

*1.当选择多任务模式时可用于ZS-HLDC□1。
*2.端子块输出是ZS-HLDC□1的一种可能。

ZS-HL系列传感器头

项目 型号 ZS-HLDS2T ZS-HLDS2VT ZS-HLDS5T
可应用控制器 ZS-HLDC系列
光学系统 正反射 漫反射 正反射 漫反射 正反射
测量中心距离 20 mm 5.2 mm 25 mm 50 mm 44 mm
测量范围 ±1 mm ±1 mm ±2 mm ±5 mm ±4 mm
光源 可视半导体激光(波长:650nm,最高1mW,JIS Class 2)
光束形状 线光束
光束直径 *1 1.0 mm × 20 μm 2.2 mm × 45 μm 1.0 mm × 30 μm 3.5 mm × 60 μm
直线性 *2 ±0.05%F.S. ±0.2%F.S. ±0.1%F.S.
分辨率 *3 0.25 μm (平均采样数: 256) 0.6 μm (平均采样数: 128) 0.25 μm (平均采样数: 512) 1 μm (平均采样数: 64)
温度特性 *4 0.01%F.S./°C 0.1%F.S./°C 0.01%F.S./°C
采样周期 110 μs (高速模式), 500 μs (标准模式), 2.2 μs (高精度模式), 4.4 μs (高灵敏度模式)
LED
指示灯		 NEAR
指示器		 接近测量中心距离及测量范围内小于测量中心距离时点亮。
当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
FAR
指示器		 接近测量中心距离及测量范围内大于测量中心距离时点亮。
当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
运行环境照明 在接收光表面照明： 3000 lx 以下 (白炽灯)
环境温度 运行: 0 ～ 50°C, 储存: -15 ～ 60°C (无结冰，无结露)
环境湿度 运行和储存: 35% ～ 85% (无结露)
防护等级 IP64 IP67 电缆长度 0.5 m: IP66, 电缆长度 2 m: IP67
材料 外壳：铝印模压铸，前盖：玻璃
电缆长度 0.5 m, 2 m 2 m 0.5 m, 2 m
质量 约350 g 约600 g
附件 激光标签( JIS/EN每件1个), 铁氧体磁芯 (2), 保险锁 (2), 说明书

项目 型号 ZS-HLDS10 ZS-HLDS60 ZS-HLDS150
可应用控制器 ZS-HLDC 系列
光学系统 漫反射 正反射 漫反射 漫反射
测量中心距离 100 mm 94 mm 600 mm 1500 mm
测量范围 ±20 mm ±16 mm ±350 mm ±500 mm
光源 可视半导体激光(波长:650nm,最高1mW,JIS Class 2)
光束形状 线光束
光束直径 *1 3.5 mm × 60 μm 16 × 0.3 mm ( 500 mm) 40 × 1.5 mm ( 1,500 mm)
直线性 *2 ±0.1%F.S. ±0.07%F.S. (250 to 750 mm),
±0.1%F.S. (750 to 950 mm)		 ±0.2%F.S.
分辨率 *3 1 μm (平均采样数: 64) 8 μm (平均采样数: 250 mm时64),
40 μm (平均采样数: 600 mm时64)		 500 μm(平均采样数: 64)
温度特性 *4 0.01%F.S./°C
采样周期 110 μs (高速模式), 500 μs (标准模式), 2.2 μs (高精度模式), 4.4 μs (高灵敏度模式)
LED
指示灯		 NEAR
指示器		 接近测量中心距离及测量范围内小于测量中心距离时点亮。
当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
FAR
指示器		 接近测量中心距离及测量范围内大于测量中心距离时点亮。
当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
运行环境照明 在接收光表面照明： 3000 lx 以下 (白炽灯) 在接收光表面照明： 1000 lx 以下 (白炽灯) 在接收光表面照明： 500 lx 以下 (白炽灯)
环境温度 运行: 0 ～ 50°C, 储存: -15 ～ 60°C (无结冰，无结露)
环境湿度 运行和储存: 35% ～ 85% (无结露)
防护等级 电缆长度 0.5 m: IP66, 电缆长度 2 m: IP67 IP66 *5
材料 外壳：铝印模压铸，前盖：玻璃
电缆长度 0.5 m, 2 m
质量 约600 g 约800 g
附件 激光标签( JIS/EN每件1个), 铁氧体磁芯 (2), 保险锁 (2), 说明书

*1将实际测量中心距离（有效值）定义为中心光学密度的1/e2(13.5%)。光束直径有时受工作状况的影响，如主光束泄漏的光。

*2.相对于理想直线的测量值误差。根据工件情况，直线性可能变化。可选以下选项。

*3当平均采样数设定在图表范围内时，在高精度模式下测量中心距离处位移输出的峰-峰位移转换值。
ZS-HLDS60同时显示250mm时的最大分辨率。可选以下选项。



型号 漫反射型 镜面反射型
ZS-HLDS2T SUS块 玻璃
ZS-HLDS2VT — 玻璃
ZS-HLDS5T 白色铝瓷 玻璃
ZS-HLDS10 白色铝瓷
ZS-HLDS60/HLDS150 白色铝瓷 —

型号 漫反射型 镜面反射型
ZS-HLDS2T SUS块 玻璃
ZS-HLDS2VT — 玻璃
ZS-HLDS5T 白色铝瓷 玻璃
ZS-HLDS10 白色铝瓷
ZS-HLDS60/HLDS150 白色铝瓷 —

*4.当传感器和工件通过铝夹固定时在测量中心距离处得到的值。（典型示例）
*5.连接器部分的IP等级是IP40。
*6.有关IP67防护等级传感器头的信息请咨询欧姆龙代表处。

ZS-HL系列传感头

型号 ZS-LD10GT ZS-LD15GT
可应用控制器 ZS-HLDC/LDC 系统
光学系统 正反射
测量中心距离 10 mm 15 mm
测量范围 ±0.5 mm ±0.75 mm
光源 可视半导体激光(波长:650nm,最高1mW,JIS Class 2)
光束形状 线光束
光束直径 *1 约25 x 900 μm
直线性 *2 ±0.1%FS
分辨率 *3 0.25 μm 0.25 μm
温度特性 *4 0.04%FS/°C
采样周期 110 μs (高速模式), 500 μs (标准模式), 2.2 μs (高精度模式), 4.4 μs (高灵敏度模式)
LED
指示灯		 NEAR
指示器		 接近测量中心距离及测量范围内小于测量中心距离时点亮。
当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
FAR
指示器		 接近测量中心距离及测量范围内大于测量中心距离时点亮。
当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
运行环境照明 在接收光表面照明： 3000 lx 以下 (白炽灯)
环境温度 运行: 0 ～ 50°C, 储存: -15 ～ 60°C (无结冰，无结露)
环境湿度 运行和储存: 35% ～ 85% (无结露)
防护等级*5 IP40
材料 外壳：铝印模压铸，前盖：玻璃
电缆长度 0.5 m, 2 m
质量 约400g
附件 激光标签( JIS/EN每件1个)， 铁氧体磁芯 (2), 保险锁 (2)

*1.将实际测量中心距离（有效值）定义为中心光学密度的1/e2(13.5%)。光束直径有时受工作状况的影响，如主光束泄漏的光。
*2.相对于理想直线的测量值误差。标准工件在正反射模式下为白色铝瓷和玻璃。根据工件情况，直线性可能变化。
*3.当平均采样数设定为128且测量模式设定为高分辨率模式时，在高精度模式下测量中心距离处位移输出的峰-峰位移转换值。标准工作在正反射模式下为白色铝瓷和玻璃。
*4.当传感器和工件通过铝夹固定时在测量中心距离处得到的值。（典型示例）
*5. 连接器部分的IP等级是IP40。

ZS-MDC□1 多通道控制器

基本规格与 ZS-LDC□1 传感器控制器的规格相同。然而以下几点不同：
1.不能连接传感器头
2.最多连接9个控制器时需要使用控制器链接单元。连接控制器时需要使用控制器链接单元
3.控制器之间的处理功能：数学功能

控制器链接单元

使用 ZS-XCN进行连接

ZS-HL 额定值 / 性能 18 ZS-HL_Spec1

ZS-DSU□1数据存储单元

项目 型号 ZS-DSU11 ZS-DSU41
安装传感器头数 不能连接
可连接控制器数 最多为10个控制器(ZS-MDC：1个控制器，ZS-HLDC/LDC：最多为9个控制器)*1
可连接的控制器 ZS-HLDC□□，ZS-LDC□□，ZS-MDC□□
外部接口 链接方式 串口I/O：连速器，其他：预配线(标准电缆长度:2m)
串口I/O USB2.0 1个端口，全速(最大12Mbps)，MINI-B
RS-232C 1个端口，115,200bps以下
输出 3个输出：HIGH、PASS和LOW；
NPN开路集电极，DC30V，最大50mA，
残余电压：最大为1.2V		 3个输出：HIGH、PASS和LOW；
NPN开路集电极，最大50mA，
残余电压：最大为1.2V
输入 ON:短路，端电压0V或1,5V或更低
OFF:开路(漏电流：最大为0.1mA)		 ON：电源电压短路或电源电压差1.5V以内
OFF:开路(漏电流：最大为0.1mA)
数据分辨率 32bit
功能 记录触发功能 可分别设定开始和停止触发：外部触发、数据触发(自触发)以及时间触发
其他功能 外部组、报警输出、保存数据格式定制及时钟
状态指示灯 OUT(输出，橘黄色)，PWR(绿色)、ACCESS(达到，橘黄色)，ERR(红色)
分段显示 8段绿色LED，6位
LCD 16位数×2行，字符颜色：绿色，每个字符分辨率：5×8像素矩阵
设定输入 设定键 方向键(上、下、左、右)、设定键、退出键、菜单键及功能键(1～4)
切换开关 门限开关(2种状态：高/低)、模式开关(3种状态：功能、示教及运行)
电源电压 DC21.6V～26.4V(包括波动)
电流消耗 最大为0.5A
环境温度 运行：0～50°C，存储：0～60°C（无结冰，无结露）
环境湿度 运行和存储时：35%～85%（无结露）
IP等级 IP20（IEC60529）
材料 外壳：聚碳酸酯(PC)
质量 约280g(不含包装材质和附件)
附件 铁氧体磁芯(1)，数据储存单元说明书：数据储存单元CSV文件转换/Smart Analyzer宏版本

*1.连接控制器时需要使用控制器链接单元。

（单位：mm）

传感器控制器

ZS-HLDC□1/LDC□1

ZS-HL 外形尺寸 2

多通道控制器

ZS-MDC□1

ZS-HL 外形尺寸 3

数据存储单元

ZS-DSU□1

ZS-HL 外形尺寸 6

传感器头

ZS-HLDS2T

ZS-HL 外形尺寸 9 ZS-HLDS2T_Dim

ZS-HLDS5T/HLDS10

ZS-HL 外形尺寸 11 ZS-HLDS5T/HLDS10_Dim

注：ZS-HLDS5T型：L = 50，A = 30°
　　ZS-HLDS10型：L = 100，A = 25°

ZS-HLDS60/HLDS150

ZS-HL 外形尺寸 13 ZS-HLDS60/HLDS150_Dim

注：ZS-HLDS60型：L = 600，A = 7°
　　 ZS-HLDS150型：L = 1500，A = 3°

ZS-LD10G

ZS-HL 外形尺寸 15

ZS-LD15G

ZS-HL 外形尺寸 17

ZS-LD50/LD50S/LD80/LD130/LD200/LD350S

ZS-HL 外形尺寸 18

注：ZS-LD50/50S􀵟􀋖L = 50􀋈A = 30°
　　ZS-LD80􀵟􀋖L = 80􀋈A = 15°
　　ZS-LD130􀵟􀋖L = 130􀋈A = 12°
　　ZS-LD200􀵟􀋖L = 200􀋈A = 8°
　　ZS-LD350S􀵟􀋖L = 350􀋈A = 5°

ZS-HLDS2V/LD20/LD20S/LD40

ZS-HL 外形尺寸 21 ZS-HLDS2VT_Dim

注：ZS-HLDS2VT型：L = 25，A = 34.5°
　　ZS-LD20T/20ST型：L = 20，A = 45°
　　ZS-LD40T型：L = 40，A = 32°

实时并行输出单元

ZG-RPD□1

ZS-HL 外形尺寸 24 ZS-RPD[]1_Dim

面板安装适配器

ZS-XPM1/XPM2 (面板安装尺寸)

ZS-HL 外形尺寸 27 ZS-XPM1/XPM2_Dim

注：面板厚度为0.2mm的尺寸图。

数字均衡器

ZS-XEQ

ZS-HL 外形尺寸 30 ZS-XEQ_Dim

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