欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型


    超高性能传感器支持大范围准确测量的核心质量

    ZS-HL系列部分产品预定于2021年1月底订货截止。


高性能传感器支持大范围准确测量的核心质量

测量中心距离为20 ~ 1,500 mm的各种型号。 最大分辨率达0.25 μm。 最大响应速度达110 μs。 支持并行输出。

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型 欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型 欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

超稳定性

较佳尺寸/稳定性传感器尺寸

重视性能的理想传感器头尺寸和3点式固定构造确保出众的传感稳定性。(参见注释)

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

注:ZS-HLDS2T 不可用。

卓越的移动分辨率透视分辨率提升

通过提高受光透镜的灵敏度和分辨率,使光学系统较优化,从而大幅度降低移动分辨率误差(因工件表面位置引起的误差)。

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

材质间误差降低2维CMOS

CCD在受光量过多时电荷会溢出至相邻的像素。CMOS避免了这种现象,不会受不同材质或受光过多导致的光量变动影响。

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型 欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

降低决定测量精度的不同物体之间的差异。 因此,可以更方便地应用于检测对象物。

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型 欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型 欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型 欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

1,500mm长距离检测,可以测量以往无法测量的点。

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型 欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

注:此功能可能在明亮环境中无效。

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

可稳定测量倾斜工件和移动工件。

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型 欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

专门为ZS-HLDS2VT开发的非球面透镜,采用的光学结构设计适用于正反射工件。显著扩大了允许倾斜的角度,并提高了测量透明工件和正反射工件的稳定性。

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型 欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

在半导体晶圆片、玻璃等要求精度高的测量上具有较佳优势。

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型 欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

测量精度0.25μm,同级产品的较高水平。

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

密封调和器的高度控制

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

HDD用电机旋转座的光盘播放检查

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

种类

智能传感器

ZS-HL系列传感器头

光学系统 检测距离 光束形状 光束直径 分辨率(参见注) 电缆长度 型号
正反射型 20±1mm 线光束 1.0mm × 20μm 0.25 μm 2m ZS-HLDS2T 2M
0.5m ZS-HLDS2T 0.5M
25±2mm 线光束 2.2mm × 45μm 0.6 μm 2m ZS-HLDS2VT 2M
0.5m ZS-HLDS2VT 0.5M
漫反射型 50±5mm 线光束 1.0mm × 30μm 0.25 μm 2m ZS-HLDS5T 2M
0.5m ZS-HLDS5T 0.5M
100±20mm 线光束 3.5mm × 60μm 1 μm 2m ZS-HLDS10 2M
0.5m ZS-HLDS10 0.5M
600±350mm 线光束 16mm × 0.3mm 8 μm 2m ZS-HLDS60 2M
0.5m ZS-HLDS60 0.5M
1500±500mm 线光束 40mm × 1.5mm 500 μm 2m ZS-HLDS150 2M
0.5m ZS-HLDS150 0.5M

注: 详情请参见额定值/规格表。

ZS-HL系列传感器头(喷嘴间隙用)

光学系统 检测距离 光束形状 光束直径 分辨率(参见注) 电缆长度 型号
正反射型 10±0.5mm 线光束 900 × 25μm 0.25μm 2m ZS-LD10GT 2M
0.5m ZS-LD10GT 0.5M
15±0.75mm 线光束 900 × 25μm 0.25μm 2m ZS-LD15GT 2M
0.5m ZS-LD15GT 0.5M

注: 详情请参见额定值/规格表。

ZS-L系列传感器头

光学系统 检测距离 光束形状 光束直径 分辨率(参见注) 电缆长度 型号
正反射型 20±1mm 线光束 900 × 25μm 0.25μm 2m ZS-LD20T 2M
0.5m ZS-LD20T 0.5M
点光束 φ25μm 0.25μm 2m ZS-LD20ST 2M
0.5m ZS-LD20ST 0.5M
40±2.5mm 线光束 2000 × 35μm 0.4μm 4m ZS-LD40T 4M
2m ZS-LD40T 2M
0.5m ZS-LD40T 0.5M
漫反射型 50±5mm 线光束 900 × 60μm 0.8μm 2m ZS-LD50 2M
0.5m ZS-LD50 0.5M
点光束 φ50μm 0.8μm 2m ZS-LD50S 2M
0.5m ZS-LD50S 0.5M
80±15mm 线光束 900 × 60μm 2μm 2m ZS-LD80 2M
1m ZS-LD80 1M
0.5m ZS-LD80 0.5M
130±15mm 线光束 600 × 70μm 3μm 2m ZS-LD130 2M
0.5m ZS-LD130 0.5M
200±50mm 线光束 900 × 100μm 5μm 2m ZS-LD200 2M
0.5m ZS-LD200 0.5M
350±135mm 点光束 φ240μm 20μm 2m ZS-LD350S 2M
0.5m ZS-LD350S 0.5M

注 : 平均采样数:设置为高精度模式时128。

ZS-HL系列传感器控制器

形状 电源电压 控制输出 型号
欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型 DC24V NPN输出 ZS-HLDC11
PNP输出 ZS-HLDC41

ZS-L系列传感器控制器

形状 电源电压 控制输出 型号
欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型 DC24V NPN输出 ZS-LDC11
PNP输出 ZS-LDC41

多通道控制器

形状 电源电压 控制输出 型号
欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型 DC24V NPN输出 ZS-MDC11
PNP输出 ZS-MDC41

数据存储单元

形状 电源电压 控制输出 型号
欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型 DC24V NPN输出 ZS-DSU11
PNP输出 ZS-DSU41

附件(另售)

控制器链接单元

形状 型号
欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型 ZS-XCN

面板安装适配器

形状 型号
欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型 ZS-XPM1 用于第一个控制器
欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型 ZS-XPM2 用于扩展(从第二个控制器开始)

RS-232C 电缆

连接至 型号 数量
个人计算机(2m) ZS-XRS3 1
PLC/PT(2m) ZS-XPT3 1

兼容CompoNet的传感器通信单元

形状 型号
欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型 ZS-CRT

记忆卡

型号 容量
HMC-EF283 HMC-EF583 256 MB 512 MB

实时并行输出单元 ( ZS-HL系列用)

形状 控制输出 型号
欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型 NPN 输出 ZG-RPD11-N
PNP输出 ZG-RPD41-N

传感器头延长电缆

电缆长度 型号 数量
1m ZS-XC1A 1
4m ZS-XC4A
5m ZS-XC5B(*1,*2)
8m ZS-XC8A
10m ZS-XC10A(*1)

*1.至少连接两根ZS-XC□B 电缆。 (最长为22m). *2.还包括一根机器人电缆(ZS-XC5BR)

传感器头扩展电缆 (用于ZS-HL系列专用数字均衡器)

名称 型号 数量
数字均衡器(中继器) ZS-XEQ 1
扩展电缆(长距离、耐弯曲型15m电缆) ZS-XC15CR 1
扩展电缆(长距离、耐弯曲型25m电缆) ZS-XC25CR 1
数字均衡器连接电缆(0.2m) ZS-XC02D 1

记录软件

名称 型号
SmartMonitor Professional ZS-SW11V3E

ZS-HL系列传感器控制器

项目 型号 ZS-HLDC11 ZS-HLDC41
平均采样数 1/2/4/8/16/32/64/256/512/1,024/2,048、4,096
安装传感器 每只传感器控制器1个
外部接口 链接方式 串口I/O:连速器,其他:预配线(标准电缆长度:2m)
串口I/O USB2.0 1个端口,全速(12Mbps以下),MINI-B
RS-232C 1个端口,115,200bps以下
输出 判断输出 3个输出:HIGH(高)/PASS(通过)/LOW(低) NPN开路集电极,DC30V,最大为50mA,残余电压:最大为1.2V 3个输出:HIGH(高)/PASS(通过)/LOW(低) PNP开路集电极,最大为50mA,残余电压:最大为1.2V
线性输出 可从2种输出,电压或电流中选择(通过底座上切换开关进行选择)。 ·电压输出:-10~10V,输出阻抗40Ω ·电流输出:4~20mA,最大负载电阻:300Ω
输入 激光OFF,归零定时,复位 ON:短路,端电压0V或1,5V或更低 OFF:开路(漏电流:最大为0.1mA) ON:电源电压短路或电源电压差1.5V以内 OFF:开路(漏电流:最大为0.1mA)
功能 显示:测量值、门限值、电压/电流、接收光量以及分辨率/端子块输出*2 传感:模式、增益、测量对象、头安装 测量点*1:平均值、峰值、谷值、厚度、断差以及计算 过滤:平滑、平均以及微分 输出:比例(聚焦/校正)、判断(迟滞和定时器)、非测量、及组(切换和清除)* 系统保存、初始化、测量信息显示、通信设定值、键锁定、语言及数据加载 任务:ZS-HLDC□1:单任务或多任务(最多4项) ZS-LDC□1:单任务
状态指示灯 HIGH(橘黄色)、PASS(绿色)、LOW(橘黄色)、LDON(绿色)、ZERO(橘黄色)、ENABLE(绿色)
分段显示 主显示 8段红色LED,6位
副显示 8段绿色LED,6位
LCD 16位数×2行、字符颜色:绿色,每个字符分辨率:5×8像素矩阵
设定输入 设定键 方向键(上、下、左、右)、设定键、退出键、菜单键及功能键(1~4)
切换开关 门限开关(2种状态:高/低)、模式开关(3种状态:功能、示教及运行)
电源电压 DC21.6V~26.4V(包括纹波)
电流消耗 最大为0.5A(连接传感器头时)
环境温度 运行:0~50°C,储存:-15~+60°C(无结冰、无结露)
环境湿度 运行和储存时:35%~85%(无结露)
防护等级 IP20 (IEC60529)
材质 外壳:聚碳酸酯(PC)
电缆长度 2m
质量 约280g(不含包装材质和附件)
附件 铁氧体磁芯(1),说明书

*1.当选择多任务模式时可用于ZS-HLDC□1。 *2.端子块输出是ZS-HLDC□1的一种可能。

ZS-HL系列传感器头

项目 型号 ZS-HLDS2T ZS-HLDS2VT ZS-HLDS5T
可应用控制器 ZS-HLDC系列
光学系统 正反射 漫反射 正反射 漫反射 正反射
测量中心距离 20 mm 5.2 mm 25 mm 50 mm 44 mm
测量范围 ±1 mm ±1 mm ±2 mm ±5 mm ±4 mm
光源 可视半导体激光(波长:650nm,最高1mW,JIS Class 2)
光束形状 线光束
光束直径 *1 1.0 mm × 20 μm 2.2 mm × 45 μm 1.0 mm × 30 μm 3.5 mm × 60 μm
直线性 *2 ±0.05%F.S. ±0.2%F.S. ±0.1%F.S.
分辨率 *3 0.25 μm (平均采样数: 256) 0.6 μm (平均采样数: 128) 0.25 μm (平均采样数: 512) 1 μm (平均采样数: 64)
温度特性 *4 0.01%F.S./°C 0.1%F.S./°C 0.01%F.S./°C
采样周期 110 μs (高速模式), 500 μs (标准模式), 2.2 μs (高精度模式), 4.4 μs (高灵敏度模式)
LED 指示灯 NEAR 指示器 接近测量中心距离及测量范围内小于测量中心距离时点亮。 当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
FAR 指示器 接近测量中心距离及测量范围内大于测量中心距离时点亮。 当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
运行环境照明 在接收光表面照明: 3000 lx 以下 (白炽灯)
环境温度 运行: 0 ~ 50°C, 储存: -15 ~ 60°C (无结冰,无结露)
环境湿度 运行和储存: 35% ~ 85% (无结露)
防护等级 IP64 IP67 电缆长度 0.5 m: IP66, 电缆长度 2 m: IP67
材料 外壳:铝印模压铸,前盖:玻璃
电缆长度 0.5 m, 2 m 2 m 0.5 m, 2 m
质量 约350 g 约600 g
附件 激光标签( JIS/EN每件1个), 铁氧体磁芯 (2), 保险锁 (2), 说明书
项目 型号 ZS-HLDS10 ZS-HLDS60 ZS-HLDS150
可应用控制器 ZS-HLDC 系列
光学系统 漫反射 正反射 漫反射 漫反射
测量中心距离 100 mm 94 mm 600 mm 1500 mm
测量范围 ±20 mm ±16 mm ±350 mm ±500 mm
光源 可视半导体激光(波长:650nm,最高1mW,JIS Class 2)
光束形状 线光束
光束直径 *1 3.5 mm × 60 μm 16 × 0.3 mm ( 500 mm) 40 × 1.5 mm ( 1,500 mm)
直线性 *2 ±0.1%F.S. ±0.07%F.S. (250 to 750 mm), ±0.1%F.S. (750 to 950 mm) ±0.2%F.S.
分辨率 *3 1 μm (平均采样数: 64) 8 μm (平均采样数: 250 mm时64), 40 μm (平均采样数: 600 mm时64) 500 μm(平均采样数: 64)
温度特性 *4 0.01%F.S./°C
采样周期 110 μs (高速模式), 500 μs (标准模式), 2.2 μs (高精度模式), 4.4 μs (高灵敏度模式)
LED 指示灯 NEAR 指示器 接近测量中心距离及测量范围内小于测量中心距离时点亮。 当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
FAR 指示器 接近测量中心距离及测量范围内大于测量中心距离时点亮。 当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
运行环境照明 在接收光表面照明: 3000 lx 以下 (白炽灯) 在接收光表面照明: 1000 lx 以下 (白炽灯) 在接收光表面照明: 500 lx 以下 (白炽灯)
环境温度 运行: 0 ~ 50°C, 储存: -15 ~ 60°C (无结冰,无结露)
环境湿度 运行和储存: 35% ~ 85% (无结露)
防护等级 电缆长度 0.5 m: IP66, 电缆长度 2 m: IP67 IP66 *5
材料 外壳:铝印模压铸,前盖:玻璃
电缆长度 0.5 m, 2 m
质量 约600 g 约800 g
附件 激光标签( JIS/EN每件1个), 铁氧体磁芯 (2), 保险锁 (2), 说明书

*1将实际测量中心距离(有效值)定义为中心光学密度的1/e2(13.5%)。光束直径有时受工作状况的影响,如主光束泄漏的光。

*2.相对于理想直线的测量值误差。根据工件情况,直线性可能变化。可选以下选项。

*3当平均采样数设定在图表范围内时,在高精度模式下测量中心距离处位移输出的峰-峰位移转换值。 ZS-HLDS60同时显示250mm时的最大分辨率。可选以下选项。

型号 漫反射型 镜面反射型
ZS-HLDS2T SUS块 玻璃
ZS-HLDS2VT 玻璃
ZS-HLDS5T 白色铝瓷 玻璃
ZS-HLDS10 白色铝瓷
ZS-HLDS60/HLDS150 白色铝瓷
型号 漫反射型 镜面反射型
ZS-HLDS2T SUS块 玻璃
ZS-HLDS2VT 玻璃
ZS-HLDS5T 白色铝瓷 玻璃
ZS-HLDS10 白色铝瓷
ZS-HLDS60/HLDS150 白色铝瓷

*4.当传感器和工件通过铝夹固定时在测量中心距离处得到的值。(典型示例) *5.连接器部分的IP等级是IP40。 *6.有关IP67防护等级传感器头的信息请咨询欧姆龙代表处。

ZS-HL系列传感头

型号 ZS-LD10GT ZS-LD15GT
可应用控制器 ZS-HLDC/LDC 系统
光学系统 正反射
测量中心距离 10 mm 15 mm
测量范围 ±0.5 mm ±0.75 mm
光源 可视半导体激光(波长:650nm,最高1mW,JIS Class 2)
光束形状 线光束
光束直径 *1 约25 x 900 μm
直线性 *2 ±0.1%FS
分辨率 *3 0.25 μm 0.25 μm
温度特性 *4 0.04%FS/°C
采样周期 110 μs (高速模式), 500 μs (标准模式), 2.2 μs (高精度模式), 4.4 μs (高灵敏度模式)
LED 指示灯 NEAR 指示器 接近测量中心距离及测量范围内小于测量中心距离时点亮。 当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
FAR 指示器 接近测量中心距离及测量范围内大于测量中心距离时点亮。 当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
运行环境照明 在接收光表面照明: 3000 lx 以下 (白炽灯)
环境温度 运行: 0 ~ 50°C, 储存: -15 ~ 60°C (无结冰,无结露)
环境湿度 运行和储存: 35% ~ 85% (无结露)
防护等级*5 IP40
材料 外壳:铝印模压铸,前盖:玻璃
电缆长度 0.5 m, 2 m
质量 约400g
附件 激光标签( JIS/EN每件1个), 铁氧体磁芯 (2), 保险锁 (2)

*1.将实际测量中心距离(有效值)定义为中心光学密度的1/e2(13.5%)。光束直径有时受工作状况的影响,如主光束泄漏的光。 *2.相对于理想直线的测量值误差。标准工件在正反射模式下为白色铝瓷和玻璃。根据工件情况,直线性可能变化。 *3.当平均采样数设定为128且测量模式设定为高分辨率模式时,在高精度模式下测量中心距离处位移输出的峰-峰位移转换值。标准工作在正反射模式下为白色铝瓷和玻璃。 *4.当传感器和工件通过铝夹固定时在测量中心距离处得到的值。(典型示例) *5. 连接器部分的IP等级是IP40。

ZS-MDC□1 多通道控制器

基本规格与 ZS-LDC□1 传感器控制器的规格相同。然而以下几点不同: 1.不能连接传感器头 2.最多连接9个控制器时需要使用控制器链接单元。连接控制器时需要使用控制器链接单元 3.控制器之间的处理功能:数学功能

控制器链接单元

使用 ZS-XCN进行连接

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

ZS-DSU□1数据存储单元

项目 型号 ZS-DSU11 ZS-DSU41
安装传感器头数 不能连接
可连接控制器数 最多为10个控制器(ZS-MDC:1个控制器,ZS-HLDC/LDC:最多为9个控制器)*1
可连接的控制器 ZS-HLDC□□,ZS-LDC□□,ZS-MDC□□
外部接口 链接方式 串口I/O:连速器,其他:预配线(标准电缆长度:2m)
串口I/O USB2.0 1个端口,全速(最大12Mbps),MINI-B
RS-232C 1个端口,115,200bps以下
输出 3个输出:HIGH、PASS和LOW; NPN开路集电极,DC30V,最大50mA, 残余电压:最大为1.2V 3个输出:HIGH、PASS和LOW; NPN开路集电极,最大50mA, 残余电压:最大为1.2V
输入 ON:短路,端电压0V或1,5V或更低 OFF:开路(漏电流:最大为0.1mA) ON:电源电压短路或电源电压差1.5V以内 OFF:开路(漏电流:最大为0.1mA)
数据分辨率 32bit
功能 记录触发功能 可分别设定开始和停止触发:外部触发、数据触发(自触发)以及时间触发
其他功能 外部组、报警输出、保存数据格式定制及时钟
状态指示灯 OUT(输出,橘黄色),PWR(绿色)、ACCESS(达到,橘黄色),ERR(红色)
分段显示 8段绿色LED,6位
LCD 16位数×2行,字符颜色:绿色,每个字符分辨率:5×8像素矩阵
设定输入 设定键 方向键(上、下、左、右)、设定键、退出键、菜单键及功能键(1~4)
切换开关 门限开关(2种状态:高/低)、模式开关(3种状态:功能、示教及运行)
电源电压 DC21.6V~26.4V(包括波动)
电流消耗 最大为0.5A
环境温度 运行:0~50°C,存储:0~60°C(无结冰,无结露)
环境湿度 运行和存储时:35%~85%(无结露)
IP等级 IP20(IEC60529)
材料 外壳:聚碳酸酯(PC)
质量 约280g(不含包装材质和附件)
附件 铁氧体磁芯(1),数据储存单元说明书:数据储存单元CSV文件转换/Smart Analyzer宏版本

*1.连接控制器时需要使用控制器链接单元。

(单位:mm)

传感器控制器

ZS-HLDC□1/LDC□1

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

多通道控制器

ZS-MDC□1

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

数据存储单元

ZS-DSU□1

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

传感器头

ZS-HLDS2T

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

ZS-HLDS5T/HLDS10

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

注:ZS-HLDS5T型:L = 50,A = 30°   ZS-HLDS10型:L = 100,A = 25°

ZS-HLDS60/HLDS150

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

注:ZS-HLDS60型:L = 600,A = 7°    ZS-HLDS150型:L = 1500,A = 3°

ZS-LD10G

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

ZS-LD15G

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

ZS-LD50/LD50S/LD80/LD130/LD200/LD350S

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

注:ZS-LD50/50S􀵟􀋖L = 50􀋈A = 30°   ZS-LD80􀵟􀋖L = 80􀋈A = 15°   ZS-LD130􀵟􀋖L = 130􀋈A = 12°   ZS-LD200􀵟􀋖L = 200􀋈A = 8°   ZS-LD350S􀵟􀋖L = 350􀋈A = 5°

ZS-HLDS2V/LD20/LD20S/LD40

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

注:ZS-HLDS2VT型:L = 25,A = 34.5°   ZS-LD20T/20ST型:L = 20,A = 45°   ZS-LD40T型:L = 40,A = 32°

实时并行输出单元

ZG-RPD□1

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

面板安装适配器

ZS-XPM1/XPM2 (面板安装尺寸)

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型

注:面板厚度为0.2mm的尺寸图。

数字均衡器

ZS-XEQ

欧姆龙ZS-HL 2D CMOS激光型